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晶圓精密循環(huán)烤箱，硅片循環(huán)烘箱是一種高功能、高信賴度烤箱，結(jié)構(gòu)、材質(zhì)強度、保溫、循環(huán)風道等均設(shè)計精良，且外形美觀、操作方便。空氣循環(huán)系統(tǒng)為水平式循環(huán)送風，風源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，如此可得到較佳的溫度均勻性，均勻度可達±1.5％，當門開、關(guān)動作引起擾動時，可借此送風循環(huán)系統(tǒng)迅速回復(fù)操作狀態(tài)溫度值。

潔凈充氮烘箱，無塵室充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。充氮烤箱可滿足電子電器、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達350℃-400℃并且可加裝氮氣進出口。

非標充氮烘箱，黃光區(qū)充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備.適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。

晶圓百級潔凈烤箱，可編程潔凈烘箱一種采用單面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng)，風源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100的潔凈烘箱

硅片充氮烘箱，可程式充氮烤箱?是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)。烘箱工作室為光亮型全不銹鋼結(jié)構(gòu)。工作室內(nèi)溫度采用智能式數(shù)顯溫度控制儀進行自動控制P.I.D調(diào)節(jié),數(shù)顯時間控制,并設(shè)有斷路及超溫報警,操作方便,使用安全。 充氮烤箱可滿足電子電器、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達350℃-400℃并且可加裝氮氣進出口。

SECS / GEM通訊無氧烘箱，無氧烤箱在工作時，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板……設(shè)備可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由GEM的通用SECS

隧道烘箱，流水線烤箱是將需要烘烤的產(chǎn)品在流水線上連續(xù)性進行烘烤，以達到提高生產(chǎn)效率。該產(chǎn)品的外殼由冷扎鋼板制作，內(nèi)膽采冷軋鋼板或者不銹鋼鋼板制作，箱體外殼表面覆環(huán)保漆，外殼與內(nèi)膽之間用硅酸鋁纖維填充，形成可靠的保溫層