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百級無塵烤箱 熱風循環(huán)烘箱

百級無塵烤箱 熱風循環(huán)烘箱

簡要描述:

百級無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

百級無塵烤箱

無塵烤箱也稱無塵工業(yè)烤箱、潔凈工業(yè)烤箱,是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈無塵烘干設備。箱內空氣封閉自循環(huán),經耐高溫高效空氣過濾器(100級)反復過濾,使烘箱工作室內處于無塵狀態(tài)。無塵烤箱工作室為不銹鋼結構。工作室內溫度由溫控儀自動控制,并有自動恒溫及時間控制裝置,并附設有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

百級無塵烤箱

1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采平面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng),風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到溫度控制精度。

無塵等級:Class 100;     

溫度范圍:RT+10~200℃;
溫度均勻度:±2℃;    

溫度波動度:±0.5℃(空載)        
溫控精度:±0.1℃;        

工作室尺寸:W500×D600×H500(mm)         

電源:380v , 50Hz,5KW    

網板:2塊(高度可調節(jié))

潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環(huán)方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風速距離。
M計裝可編程控制1模式20步驟,zui多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數在1-999次間設定。
簡單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。 

每日維護保養(yǎng)

1. 打掃表面及內腔灰塵,保持機器干凈、衛(wèi)生。

2. 檢查電流表電流跟正常時是否一樣,如有異樣,通知維修工檢修。

3. 突然停電,要把加熱開關關閉,防止來電時自動啟動。

4. 檢查風機運轉是否正常,有無異常聲音,如有立即關閉機器并通知維修工檢修。

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