HMDS蒸鍍系統(tǒng)，無塵HMDS烤箱概述

HMDS蒸鍍系統(tǒng)，無塵HMDS烤箱通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。

特點(diǎn)

Ø  更加節(jié)省藥液：實(shí)踐證明，用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理4盒晶片所用藥液還多。

Ø  更加環(huán)保和安全：HMDS是有毒化學(xué)藥品，人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、呼吸道等，由于整個(gè)過程是在密閉的環(huán)境下完成的，所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī)，所以也不會對環(huán)境造成污染。 

Ø  自動吸取HMDS功能：智能型的程式設(shè)定，一鍵完成作業(yè)。HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。

技術(shù)參數(shù)

Ø  材質(zhì)： 外箱采用304不銹鋼或優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

Ø  電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ       總功率約2.5KW   

Ø  控制儀表：人機(jī)界面

Ø  擱板層數(shù)：2層

Ø  HMDS控制：可控制HMDS藥液的添加量

Ø  真空泵：旋片式油泵或進(jìn)口無油泵

Ø  保護(hù)裝置： 超溫保護(hù)，漏電保護(hù)，過熱保護(hù)等

Ø  加熱系統(tǒng)：由于工藝的整個(gè)過程都需要在200℃左右的環(huán)境下進(jìn)行，所以自始至終加熱系統(tǒng)都在工作。本系統(tǒng)采用在腔內(nèi)分布兩塊獨(dú)立的熱板來實(shí)現(xiàn)加熱，每個(gè)熱板都采用人工智能PID調(diào)節(jié)儀實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，調(diào)節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出從而實(shí)現(xiàn)溫度的精確穩(wěn)定控制，測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。