無氧化烤箱概述：

  利用充氮氣提供無氧化烘烤空間， 確保產(chǎn)品不氧化。適用于IC封裝、晶圓烘烤、PI固化、BCB膠固化、ITO模具退火、鍍膜制程等半導體行業(yè)，電子行業(yè)及各種產(chǎn)業(yè)應用。

無氧化烤箱結構：

1.箱體結構：

內(nèi)箱采用SUS304鏡面不銹鋼制作，以全周氬弧焊無縫處理；

外箱采用SUS304不銹鋼或優(yōu)質冷軋板靜電噴塑處理；

外箱保溫材質採用高級超細保溫棉，六面保溫斷熱，機臺表面溫度低。

2.氣體系統(tǒng)：

馬達軸心以特殊軸封密閉，氣密性佳，含氧量可低至50PPM以上；

箱體內(nèi)裝有氧含量分析儀，全稱檢測氧含量；

排氣口采用自動風門設計以達到強烈的循環(huán)效果及快速降溫，進氣口加附N2流量計控制進氣量。

3.熱風循環(huán)系統(tǒng)：

特殊節(jié)約能源高效率送風結構；

采用不銹鋼覆套式無塵無氧化電熱發(fā)生器；

箱體后部裝有離心循環(huán)風機、氮氣進氣口和排氣口，離心風機將箱內(nèi)加熱的熱風與進氣口的新鮮氮氣混合，一部分氣體混合烘干處理產(chǎn)生的廢氣物從排氣口排出，大部分氣體進入箱體兩側的循環(huán)風道，攜帶加熱器產(chǎn)生的熱量，進入箱體內(nèi)對產(chǎn)品進行加熱烘烤，然后由離心風機重新吸回，從而往返循環(huán)。

4.降溫系統(tǒng)：

 風冷或水冷卻循環(huán)系統(tǒng)。

5.溫控系統(tǒng)：

 采用高精度溫度控制器，內(nèi)置斜率設定、PID自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多種功能。